Série de alvos de metais e ligas de terras raras de alta pureza - Alvo de Escândio (Sc)
Pureza:2N5~3N5(pureza absoluta)
Método de embalagem: embalagem a vácuo, caixa de papel ou selagem de caixa de avião
Modelo Padrão:
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Padrão |
Padrão de terras raras de Hunan |
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Nota |
Sc-3Na5-T |
Sc-3Na-T |
Sc-2Na5-T |
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Sc, não menos que (%) |
99.95 |
99.9 |
99.5 |
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Sc/RE, não menos que (%) |
99.999 |
99.99 |
99.95 |
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O teor de impurezas não deve exceder (ppm) |
Al |
30 |
50 |
100 |
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Si |
20 |
30 |
50 |
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Fé |
50 |
120 |
200 |
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Ca |
30 |
50 |
100 |
|
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Cu |
20 |
30 |
50 |
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Cr |
10 |
30 |
50 |
|
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Não |
50 |
80 |
150 |
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Mn |
20 |
30 |
50 |
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Ta |
20 |
30 |
50 |
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W |
10 |
20 |
30 |
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C |
100 |
150 |
300 |
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O |
200 |
300 |
500 |
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Modo de lance |
Ligação de solda de índio |
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Especificações típicas |
Alvo Quadrado |
101,6*101,6*6mm,270*120*6mm,320*100*8mm |
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Alvo redondo |
Φ50,8*5mm, Φ76,2*5mm, Φ101,6*5mm, Φ203,2*6mm, Φ327,7*5mm, Φ332*7mm |
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Aplicação do produto:
É usado para a preparação de filmes piezoelétricos AlScN para dispositivos de RF e MEMS por pulverização catódica de magnetron de alvo duplo PVD, bem como a nova geração de filmes ferroelétricos AlScN para armazenamento.
Vantagens técnicas:
1. Usando metal escândio de alta pureza como matéria-prima, pureza do produto tão alta quanto 3N5 absolutamente, controle de impurezas chave estritamente, O≤200ppm,Fe≤100ppm;
2. Tamanho médio de grão <200 mícrons;
3. Apoie a produção personalizada de tamanho não padrão.

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