Série de alvos de metal e liga de terras raras de alta pureza-LANTANUM TARGEN (LA)
Pureza: 2n ~ 4n (pureza absoluta)
Especificação do produto: embalagem a vácuo de camada dupla ou embalagem encharcada de óleo
Modelo padrão:
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Padrão |
Hunan Rare Earth Standard |
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Nota |
La-4Na-T |
La-3Na5-T |
La-2Na-T |
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La, nada menos que (%) |
99.99 |
99.95 |
99 |
|
|
LA/RE, nada menos que (%) |
99.999 |
99.995 |
99.5 |
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O conteúdo de impureza não deve exceder (ppm) |
Al |
15 |
25 |
100 |
|
Si |
5 |
10 |
300 |
|
|
Fe |
20 |
100 |
2000 |
|
|
Ca |
10 |
25 |
200 |
|
|
Cu |
20 |
100 |
500 |
|
|
Cr |
1 |
10 |
200 |
|
|
Ni |
5 |
10 |
200 |
|
|
Mn |
1 |
10 |
100 |
|
|
Li |
1 |
5 |
— |
|
|
N / D |
1 |
10 |
— |
|
|
K |
5 |
5 |
— |
|
|
C |
100 |
400 |
— |
|
|
O |
2000 |
4000 |
— |
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Especificações típicas |
Alvo redondo |
Φ164*6mm , φ180*12mm , φ203.2*6mm , φ469.9*3mm |
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Aplicações de produtos:
Os alvos de metal de lantânio possuem excelentes constantes dielétricas, tornando-as materiais dielétricos de portão alto de alto k ideal. Esses alvos são usados para aumentar a constante dielétrica da porta de transistores em processos abaixo de 5 nm e reduzir a corrente de vazamento da porta.
Vantagens técnicas:
1. Usando metal lantanum de alta pureza como matéria-prima, a pureza absoluta do produto pode atingir até 4n. O controle das principais impurezas é rigoroso, com O ≤ 2000 ppm e C ≤ 100 ppm.
2. O tamanho médio do grão é inferior a 100 μm.
3. A produção personalizada de tamanhos não padrão é suportada.

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